一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构

摘要

本实用新型涉及一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，包括：机架，所述机架底部设置有载重轮且其侧面设置有推车把手；水槽，所述水槽设置在所述机架内，其与至少三个管路连通且其内设置有加热器，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；所述水槽为PP水槽；抽水组件。这样一方面起到一定的耐腐蚀效果，而且便于与其它结构进行配合。