一种软X射线吸收谱的测量系统

摘要

本实用新型提供一种软X射线吸收谱的测量系统，包括位于同一光轴上的平面光栅单色器、金网和待测样品，以及与所述平面光栅单色器、金网和待测样品均相连的EPICS系统，所述EPICS系统包括通过以太网相连的操作员电脑和输入/输出控制机，所述输入/输出控制机包括VME总线以及通过该VME总线相连的SIS3820计数器和数据管理模块，并通过所述数据管理模块与所述以太网相连。本实用新型采用EPICS系统与SIS3820计数器相结合，EPICS系统对其不同版本和不同编程语言的兼容性好，减少了不同软件接口时间不匹配的问题，大大增加了数据的实时性和可靠性，易于后期维护和升级。