一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置，包括脉冲激光器、三维振镜、扫描透镜、干涉仪、激光位移传感器、三维平移台和工控机；所述三维平移台用于放置样品，所述三维振镜、所述干涉仪、所述激光位移传感器设置于所述三维平移台的正上方，所述扫描透镜设置于所述三维振镜正对所述三维平移台的一端，所述工控机与所述脉冲激光器、所述三维平移台均连接，所述脉冲激光器与所述三维振镜连接。本实用新型实施例提供的装置和方法可以对任意表面形状的样品进行内部缺陷的SAFT成像。