一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置及方法

摘要

本发明涉及激光超声检测技术领域，公开了一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置及方法，包括脉冲激光发生器、复眼透镜、干涉仪、示波器、三维平移台和工控机；三维平移台用于承载待检测工件，脉冲激光发生器、复眼透镜和三维平移台从上到下依次设置，复眼透镜包括若干个用于将激光汇聚至待检测工件上的透镜，脉冲激光发生器发出的激光经透镜聚焦至待检测工件的表面上，以在待检测工件的表面激发激光超声；干涉仪和示波器连接，且干涉仪和示波器均设置于三维平移台的上方；工控机分别与脉冲激光发生器、干涉仪、示波器电连接。本发明能有效提升激光超声的检测效率。