法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/677 专利号:ZL2020201391747 变更事项:专利权人 变更前:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 变更后:拉普拉斯新能源科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518118 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号 变更后:518118 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
机译: 基板搬送方法,包括该基板搬送方法的基板搬送装置以及具有包括该基板搬送装置和基板处理装置的基板搬送装置的基板处理装置
机译: 基板搬送装置及使用该基板搬送装置的基板处理装置及其所使用的基板搬送方法。
机译: 工件搬送夹具及具备该工件搬送夹具的搬送装置以及感应加热装置