公开/公告号CN211645375U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏卓高新材料科技有限公司;
申请/专利号CN201921720414.6
申请日2019-10-15
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/40(20060101);H01M2/14(20060101);
代理机构32261 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司;
代理人吴筱娟
地址 213000 江苏省常州市溧阳市昆仑街道码头西街617号
入库时间 2022-08-22 17:07:25
机译: 坩埚组件,一种用于控制其加热装置的方法以及一种薄膜沉积设备,该薄膜沉积设备包括能够显着提高用于加热和蒸发有机材料的工作效率的薄膜沉积设备
机译: 用于沉积薄膜的材料,使用该薄膜沉积的薄膜以及用于沉积该薄膜的方法
机译: 生产用于共汽相沉积以形成薄膜的薄膜和气相沉积材料的方法,所获得的薄膜,具有薄膜的薄膜片材以及层压片材