公开/公告号CN211573676U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 吉利汽车研究院(宁波)有限公司;浙江吉利控股集团有限公司;
申请/专利号CN202020066161.1
申请日2020-01-13
分类号F02N11/10(20060101);
代理机构33107 台州市方圆专利事务所(普通合伙);
代理人陕向辉
地址 315336 浙江省宁波市杭州湾新区滨海二路818号
入库时间 2022-08-22 16:57:32
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种通孔倒角或泄漏,以及至少一种拐角短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中获得了这些测量值使用带束偏转的带电粒子束检查器从具有相应的尖端到尖端短,通孔倒角短和拐角短测试区域的单元中进行位移
机译: 线束的短路部分和线束的短路部分的制造方法