3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构

摘要

本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构，所述夹具包括底板、弹性供力结构以及夹持结构，弹性供力结构和夹持结构均固定安装在底板上；弹性供力结构包括固定管、导向环、活动杆、弹簧以及拉杆；夹持结构包括固定U形板、翘边、加工开口、橡胶垫条、平板以及橡胶垫片。本实用新型结构简单，操作方便，应用于3DMEMS探针卡制作时的夹持，通过夹持结构可为探针卡pcb板提供夹持位置，对探针卡pcb板的三个边进行夹持，夹持效果较好，受力均匀，使探针卡pcb板的表面露在加工开口的底部，可进行加工操作；通过弹性供力结构可为探针卡pcb板提供压紧，通过弹簧拉伸后的弹力，为活动杆施力，进一步为平板施力，通过固定U形板的阻挡，实现夹紧。