公开/公告号CN211553787U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 大连麦普物资设备有限公司;
申请/专利号CN201922436124.5
发明设计人 张辉丽;
申请日2019-12-30
分类号G01N21/88(20060101);
代理机构21235 大连智高专利事务所(特殊普通合伙);
代理人赵志雄
地址 116000 辽宁省大连市金州区站前街道民和村丘号44-213-2-18号
入库时间 2022-08-22 16:53:00
机译: 用于基板检查设备和基板检查设备的托盘组件,尤其考虑到在检查设备受到基板损坏时,特别容易收集损坏的碎屑而不会损坏检查设备
机译: 基板处理系统,基板表面处理设备,基板表面检查设备,基板表面检查方法以及用于实现该方法的存储介质存储程序
机译: 基板处理系统,基板表面处理设备,基板表面检查设备,基板表面检查方法以及用于实现该方法的存储介质存储程序