公开/公告号CN211547035U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 常州弘仁智能科技有限公司;
申请/专利号CN201922183422.8
发明设计人 张洋;
申请日2019-12-09
分类号D06H3/12(20060101);
代理机构32207 南京知识律师事务所;
代理人王昊
地址 213000 江苏省常州市钟楼区永红街道东方村委高家村67号
入库时间 2022-08-22 16:51:48
机译: 用于制造半导体装置的曝光系统的电容计跟踪装置,使用该电容计跟踪装置的半导体装置的表面跟踪方法,包括该跟踪装置的整平装置以及整平方法
机译: 用于在海床上的平整表面上整平,放置和散装散装物料的整平装置,具有导向装置,管子和分配刀片
机译: 激光束整平装置和用于操作激光束整平装置的方法以及相关的设计