公开/公告号CN103064228B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 夏普株式会社;
申请/专利号CN201210401097.8
申请日2012-10-19
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人刘晓峰
地址 日本国大阪府
入库时间 2022-08-23 09:43:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-29
授权
授权
2013-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/377 申请日:20121019
实质审查的生效
2013-04-24
公开
公开
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于极紫外光源装置的激光光源的调整方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法