一种加工超大尺寸单晶硅片插片机的阻挡结构

摘要

本实用新型提供一种加工超大尺寸单晶硅片插片机的阻挡结构，所述插片机阻挡结构设置于所述插片机的花篮后面，用于对入篮硅片进行缓冲，包括缓冲底座，垫高块以及固定块，所述缓冲底座设置于花篮平台上，所述固定块与所述插片机的横梁连接，用于固定所述插片机的阻挡结构，所述垫高块上端连接所述固定块，下端连接所述缓冲底座，用于垫高所述固定块，实现所述阻挡结构与所述插片机的连接。本实用新型在插片机上增加所述阻挡结构，使硅片在插片过程中不直接与花篮接触，先与所述阻挡结构进行软接触，缓冲插片过程中的冲击力，减少硅片直接撞击到花篮上的冲击力；改善装载直径为270mm‑300mm、边长为200mm‑210mm、厚度为150‑200μm硅片崩损、隐裂高的问题，降低产品损失。