半自动背磨夹具和半自动背磨系统

摘要

本实用新型提供了一种半自动背磨夹具和半自动背磨系统，涉及半导体器械领域。该半自动背磨夹具包括壳体、驱动部件、转动部件及夹持部件，所述转动部件及所述夹持部件容置于所述壳体中。所述转动部件与所述驱动部件连接，用于在所述驱动部件的带动下转动。所述夹持部件与所述转动部件连接，用于夹持待背磨物体，并在所述转动部件的带动下转动，以使所述待背磨物体转动。如此，在使得待背磨物体在背磨时受力均匀，提高了背磨效果，缩短了背磨时间。