公开/公告号CN211015125U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 广东国志激光技术有限公司;
申请/专利号CN201922268114.5
申请日2019-12-17
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人罗晓林
地址 523000 广东省东莞市松山湖园区科技九路1号2栋3单元101室
入库时间 2022-08-22 15:17:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
授权
授权
机译: 一种用于操作euv –光刻系统的方法,以避免通过氢–腐蚀euv光刻系统的组件的化学腐蚀–
机译: 一种新型的免腐蚀不锈钢起泡剂的设计,用于腐蚀性和危险性化学品,如锡四氯化物,用于沉积透明导电氧化物薄膜,用于太阳能电池应用
机译: 一种利用塑料复合板保护组件免受腐蚀和化学腐蚀的方法