一种超纯水系统的节水系统

摘要

一种超纯水系统的节水系统，由超纯水系统、反洗废水净化系统、反渗透浓水池和一次纯水罐组成。该系统可实现多介质过滤器和活性炭过滤器反洗水回收处理后回用；活性炭过滤器、去阴离子塔、混床反洗再生的末道冲洗水，抛光树脂塔的初期末道冲洗水，膜脱气刚上线初期及更换材料后初期冲洗排水，以及在线仪表排水回用至超纯水系统；反渗透膜、膜脱气、超滤膜、供应机台回水发生水质异常时，将此时异常水回用至超纯水系统前段；可以降低纯水制备过程中废水产生率，提高水源的复用率，节约水资源。