Elix－UVによる小型超純水システム - ED－内蔵高機能·メンテナンスフリー純水装置を前処理とした超純水システム

摘要

昨今の半導体情勢において、設備投資に関する思想として、少量多品種に適応でき、十分な機能をもち、さらにコストも圧縮できる、いわゆるミニファブが提唱されている。 超純水装置も1システムで建物すべてをまかなうメガファブ的なものから、今後は分散システム的な考えに基づいて、必要な設備に見合った規模の超純水装置を状況に応じて増設されていく方向に進むと予想される。 本レポートでは純水装置Elix－UVの特徴を詳しく述べ、さらに超純水ポリッシャーSuper－Qと組み合わせた、ESシステムについて説明する。