一种多晶硅生产中导热油系统高压氮气保护装置

摘要

本实用新型提供一种多晶硅生产中导热油系统高压氮气保护装置，包括中央控制器、低压氮气缓冲罐、氮气增压泵、第一高压氮气缓冲罐、自力式减压阀和第二高压氮气缓冲罐。本实用新型只需在低压氮气缓冲罐和高压氮气缓冲罐之间增加一加压装置，通过设置两级调节压力及两级监测氮气压力，无论何种原因造成保压回路压力下降，装置将自动启动补充泄漏压力，保持膨胀槽压力恒定，采用氮气驱动，无电弧及火花，安全可靠，与其他装置相比，其零件及密封少，维护简单，相比增加一套压缩系统投资费用少，但仍能达到相同目的；本实用新型具有结构简单、性能稳定和使用寿命较长的优点。