一种用于硅片回程清洗的冲洗机构

摘要

本实用新型涉及清洗设备技术领域，且公开了一种用于硅片回程清洗的冲洗机构，包括设备壳体，所述设备壳体的一侧固定安装有支撑底座，所述支撑底座上固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定套接有主动齿轮，且电机的输出轴上固定安装有旋转轴，所述旋转轴上固定套接有防滑轮。本实用新型通过在输水管上设置一个以上的固定储水架，并在固定储水架的底端设置一个旋转钮来连接冲洗头，使得冲洗头可以进行旋转，使得工作人员可以通过调节冲洗头的方向来进行不同程度的清洗，同时在设备壳体一侧的中部设置有刷毛，使得硅片在进入到设备壳体的内腔时会被刷毛进行刷洗一遍，从而将硅片上的大颗粒灰尘刷掉，提高清洗效果，保证了装置的实用性。