公开/公告号CN210711738U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 南京华伯新材料有限公司;
申请/专利号CN201921751403.4
申请日2019-10-18
分类号
代理机构北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张函
地址 210061 江苏省南京市高新技术开发区星火北路11号
入库时间 2022-08-22 14:27:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-09
授权
授权
机译: (54)标题:内部燃烧发动机(57)摘要:一种内燃机包括:腔室(12)和固定到所述腔室的壁上并且将所述腔室划分为具有以下特征的第一腔室部分(14)的柔性分隔构件(18):可变容积和具有可变容积的第二腔室部分(16)。发动机具有进气阀(20、22),以使可燃混合物的成分进入第一腔室部分以在其中燃烧,以提供压力增加以引起柔性分隔构件的挠曲,从而减小第二腔室部分的容积。迫使来自第二腔室部分的液体作为腔室的能量输出。发动机具有输入阀(98),以使水性流体进入第一腔室部分,以在第一腔室部分中提供全部水性流体供应,以保护柔性分隔构件。
机译: PECVD等离子腔室中的基座以及使用该基座的腔室清洁方法
机译: 在薄膜沉积设备中加载腔室以及使用该腔室去除灰尘的方法