一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚

摘要

一种任意安装角度有机真空蒸发源坩埚，其特征在于，包括坩埚本体和密封带，所述坩埚本体包括顶盖和坩埚壁，所述坩埚本体为U形结构，所述坩埚本体顶部半圆形顶盖可拆卸，所述顶盖通过密封带与所述坩埚壁固定，所述顶盖与所述坩埚壁的连接面为波纹形连接面，且所述连接面表面经过磨砂处理以加强密封性，所述顶盖和坩埚壁靠近所述连接面一端都设有一环形限位密封槽，所述坩埚本体下端开口处设有向坩埚内部凹陷突起形成内部凹槽，所述密封带为环形橡胶密封带，所述密封带内环中间的两侧设置环形限位密封突起，所述环形限位密封突起位置及大小与所述顶盖和坩埚壁的环形限位密封槽匹配，保证密封性的同时便于拆装。