一种用于批量制作微小型针状薄膜传感器的多功能夹具

摘要

本实用新型提供一种用于批量制作微小型针状薄膜传感器的多功能夹具，属于针状薄膜热电偶制备技术领域，为解决现有设备在抛光、清洗及薄膜制备过程遇到的问题。包括两个可移动且横截面含多个通孔的卡板，两个位置固定且含有相同通孔数量的孔板以及底板，板体上方为与高真空实验系统相装配的上圈。上圈、孔板焊接在左、右侧板上。卡板穿过侧板通孔，利用弹簧实现左右移动。不同尺寸规格的针状传感器均可利用孔板及卡板进行夹持固定，克服了针状薄膜传感器在抛光、清洗及薄膜制备过程中，由于尺寸规格及薄膜溅射方向的影响，导致传感器位置难以固定、单次加工个数较少、需多次调解制备参数等问题，提高了制备针状薄膜传感器的效率及传感器测温的准确性。