一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装

摘要

本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件和上焊接件，所述下焊件的下端内表面活动连接有定位盘一，所述定位盘一顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴，所述第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴，所述第二定位轴外表面位于下焊接件右端的位置螺纹连接有定位盘二，所述第一定位轴顶端螺纹连接有第三定位轴，所述第一定位轴与第三定位轴在一条轴线上，所述第一定位轴的轴线与第二定位轴的轴线相互垂直，所述定位盘一与第一定位轴相互垂直；本实用新型通过设有的定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴，可以有效的解决背景技术中的问题。