一种超纯砷烷的分析装置

摘要

本实用新型公开了一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒，定量筒顶端的中部固定设有螺纹连接头，第一气体管道的一端螺纹连接有预分析柱，预分析柱的一端螺纹连接有第三气体管道，第三气体管道的一端螺纹连接有DID检测仪，DID检测仪的一侧螺纹连接有第四气体管道，第四气体管道和第二气体管道之间螺纹连接有第一分析柱和第二分析柱，本实用新型的有益效果是通过设有的DID检测仪，利用DID检测仪内部的氦离子化检测器分析杂质气体，结果稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短，通过设有的分子泵机组、法兰件、防逆管道和隔膜阀，便于采用负压进气的方式，提高了操作的安全性。