一种金属有机物化学气相沉积设备的排气系统

摘要

本实用新型涉及金属有机物化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的排气系统，旨在解决更换排气系统管路和阀门时，空气中的水、氧会进入到反应室和后端的排气管路中，可能会造成排气系统管道内含磷可燃物起火的问题，其技术要点在于顺次设置的反应室、As/P过滤器、MKS压力调节阀、真空泵及尾气处理系统，还包括三通阀门组件，三通阀门组件连接有第一支管、第二支管及第三支管，第一支管与反应室相连通，第二支管与As/P过滤器相连通，第三支管与尾气处理系统相连通，并且第三支管上设有波纹管。本实用新型可以杜绝反应室内部的气体与排气系统或外界空气对流，避免了含磷可燃物起火的危险。