高功率半导体激光阵列波长锁定与线宽压缩装置

摘要

高功率半导体激光阵列波长锁定与线宽压缩装置，包括半导体激光阵列、光束整形系统、部分反射镜和色散光学元件。半导体激光阵列每根巴条发射的激光分别经对应的光束整形系统进行准直后平行输出。平行激光束分别入射到对应的部分反射镜，各激光束中的一部分光被各自对应部分反射镜反射后又依次经反射光路后续的其他部分反射镜反射并最终入射至色散光学元件，1其衍射光沿原路返回，经由各部分反射镜的反射分别再次入射至半导体激光阵列的每一根巴条内，各巴条以及各巴条对应的光束整形系统以及部分反光镜与色散光学元件一起形成外腔结构。本实用新型能够确保不同发光源出射波长的严格一致，易于实现精确波长锁定和超窄线宽光谱输出。