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一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器

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本实用新型公开了一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器。所述紫外探测器包括由下至上的衬底、石墨烯模板层、AlGaN纳米柱、与AlGaN纳米柱间形成肖特基接触的Ni第一金属层和Au第二金属层，还包括填充AlGaN纳米柱中的Si

著录项

公开/公告号CN210092100U

专利类型实用新型
公开/公告日2020-02-18

原文格式PDF
申请/专利权人华南理工大学;
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申请/专利号CN201920930316.9
发明设计人李国强;郑昱林;王文樑;粱敬晗;
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申请日2019-06-20
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人何淑珍
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2022-08-22 12:38:35

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2020-02-18

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