非可见光波段埃里斑图像采样装置

摘要

本实用新型提供一种容易找到被测物镜的焦点位置，能够快捷地获得非可见光波段埃里斑图像的非可见光波段埃里斑图像采样装置。它包括光源（1），扩束镜（2），聚光镜（3），针孔板（4），分光棱镜（5），管镜系统（6），被测物镜（7），平面反射镜（8），CCD（10)；光源发出的非可见光波段准直光束，经扩束镜（2）扩束、经聚光镜（3）汇聚到聚光镜的焦点位置处的针孔板（4）上，光束经针孔板发散，经分光棱镜（5）后，再经管镜系统（6）以平行光出射，通过被测物镜（7）聚焦在平面反射镜（8）的表面上，光线经反射，沿原光路返回，再经分光棱镜（5）聚焦在采样CCD（10)的靶面位置；平面反射镜（8）相对于被测物镜（7）在光轴上的位置可以调节。