一种对非可见光波段埃里斑图像进行采样的采样机构

摘要

本实用新型提供一种容易找到被测物镜的焦点位置，能够快捷地对非可见光波段埃里斑图像进行采样的采样机构。它包括：光源(1)，扩束镜(11)，分光棱镜(5)，管镜系统(6)，被测物镜(7)，第一平面反射镜(8)，CCD(10)；光源(1)发出的非可见光波段准直光束，经扩束镜(11)扩束后以平行光出射，进入分光棱镜(5)，通过被测物镜(7)聚焦在第一平面反射镜(8)的表面上，光线经反射，沿原光路返回，再经分光棱镜(5)进入管镜系统(6)后聚焦在CCD(10)的靶面位置；扩束镜(11)的放大率要使得出射光束的直径大于被测物镜(7)的最大通光孔径；第一平面反射镜(8)相对于被测物镜(7)在光轴上的位置可以调节。