半导体激光器模块光栅外腔光谱合束系统

摘要

本实用新型涉及半导体激光器模块光栅外腔光谱合束系统，包括多个激光模块、多个扩束镜、多个第一反射镜、一个傅里叶变换透镜、一个衍射光栅、一个滤波系统和一个外腔镜，每个激光模块包括多个呈台阶排布设置的发光芯片，在空间上进行合束从激光模块中发射，通过扩束镜压缩剩余发散角后由第一反射镜反射后入射至傅里叶变换透镜进行空间变换，在衍射光栅作用下形成合束光束以相同的衍射角输出，经过滤波系统过滤掉快轴方向的边缘光后到达外腔镜，防止相邻发光芯片的反馈串扰，在外腔镜的作用下部分光束被反射作为反馈光进行波长锁定；大大降低了系统体积，避免使用长焦距慢轴准直镜造成系统体积增大、质量增加和成本上升。