双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统

摘要

本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。本实用新型对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。