一种用于光电转换模块生产过程中的耦合作业平台及系统

摘要

本实用新型提供了一种用于光电转换模块生产过程中的耦合作业平台，包括光学防震平台、透镜夹持装置和模块夹持装置，所述透镜夹持装置和模块夹持装置间隔设置在所述光学防震平台的上表面，所述透镜夹持装置配置有竖直方向可调节的透镜升降装置，所述模块夹持装置配置有四轴调节机构。采用负压吸附爪代替传统的夹持器件，减少夹持过程中的形变量，并提供微量柔性以保证透镜与模块的贴合度，保证装夹平行度，消除应力变形；采用透镜升降装置，可实现透镜快速升降，同时配合可以四轴调节的模块夹持装置，提高操作效率；采用多功能测量仪取代视觉检测系统，降低误判几率，提高产品的可靠性。