微波天线调控磁增强线形等离子体源发生装置

摘要

本实用新型公开了一种微波天线调控磁增强线形等离子体源发生装置，包括腔体，腔体上半部为微波等离子体放电腔，下半部为等离子体扩散腔，放电腔外部设有磁铁组件，扩散腔底部设有真空机组。其中放电腔为等离子体产生区，设有与气源连接的上、下进气管以及与微波源相连接的同轴圆波导，同轴圆波导内设有同轴微波天线。本装置通过磁场增强和同轴微波天线，提高等离子体密度，调节微波传输过程中能量损耗及馈入从而激发工作气体产生高密度线形微波等离子体源，并在扩散腔形成较均匀的高密度等离子体分布。本实用新型的微波天线调控磁增强线形等离子体源发生装置，结构简单、生产效率高，可用于薄膜材料制备或用于材料表面改性。