一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵

摘要

本实用新型公开了一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体、螺杆组件和泵盖；螺杆组件设置于所述泵体内，泵盖盖设于所述泵体的端部；泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本实用新型具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。