机译:真空系统具有旋转真空螺杆泵,该螺杆真空泵具有中间进气口,该气体进气口与第二容器相连,用于产生第二工作压力,该第二工作压力位于真空螺杆泵的主入口和出口之间
公开/公告号DE202005021169U1
专利类型
公开/公告日2007-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH;
申请/专利号DE202005021169U1
发明设计人
申请日2005-11-17
分类号F04C25/00;F04C18/16;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 20:29:03