一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，包括真空手套箱、微型手动探针测试台和矢量网络分析仪,所述真空手套箱包括真空手套箱箱体和机械泵，所述微型手动探针测试台包括载台机构、探针机构和显微镜机构，所述载台机构包括工作台、载物台和卡盘，两个探针分别为输入探针和输出探针，所述矢量网络分析仪的输出测试端口通过输出导线与所述输出探针连接，所述矢量网络分析仪的输入测试端口通过输入导线与所述输入探针连接。本实用新型结构简单，设计合理，成本低，增强了高频率微尺度声表面波器件测试的可靠性，确保高频率微尺度声表面波器件失效测试准确性，实用性强。