一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备，涉及太阳能电池生产设备技术领域。该石墨舟舟片包括舟片本体，舟片本体上设置有多个间隔排列的硅片定位区，每个硅片定位区内设置有一凹槽，每个凹槽的同一侧的边缘连通有伸出对应的硅片定位区外的通气槽，通气槽与相邻的另一凹槽间隔设置。该石墨舟舟片中通气槽将凹槽与外部连通，方便镀膜后分离硅片；放置石墨舟时可以使通气槽大致沿气体流动方向延伸，不仅有利于减小炉体内气体的对流，从而提高镀膜效果，而且还可以减少通过通气槽进入凹槽内的气体，对凹槽内的压强影响较小，从而降低白点产生的几率，降低返工比例，提高正品率。