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石墨舟对二次镀膜工艺的影响

         

摘要

本文主要研究管式PECVD的二次镀膜工艺优化,通过对石墨舟使用次数与状态的实验对比分析,得出未经镀膜或者镀膜次数较少的石墨舟可以改善二次镀膜不良片的产生的结论;最终通过二次镀膜工艺改进,提升了产线的合格率与产量,保证了产线电池片半成品的质量.

著录项

  • 来源
    《山西煤炭管理干部学院学报》 |2017年第4期|215-216|共2页
  • 作者单位

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省光伏电池工程技术研究中心,山西长治046000;

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省光伏电池工程技术研究中心,山西长治046000;

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000;

    山西省光伏电池工程技术研究中心,山西长治046000;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 太阳能电池;
  • 关键词

    管式PECVD; 石墨舟; 二次镀膜; 电池片;

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