串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构

摘要

本实用新型提供了一种串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，属于晶圆检测技术领域。本串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，所述的检测装置包括具有工作台的机体，工作台上设置有承载台，其特征在于，本调节定位机构设置在工作台与承载台之间，包括固定在工作台上的横向导轨，横向导轨上滑动设置有横向滑块，横向滑块与一驱动电机一相连；所述的横向滑块上设置有纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有纵向滑块，纵向滑块与一驱动电机二相连；所述的纵向滑块上通过周向转动轴向固定的方式设置有转轴，转轴与一驱动电机三相连，转轴的上端设置有承载台。本实用新型能够实现晶圆在工作台上的位置调节，从而使探针卡对应晶圆进行精确检测。