减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置

摘要

本实用新型涉及一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置，包括镀膜夹具，固定基板上下双滚轮结构，机器人手臂吸盘；镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。优点：1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，控制腔体破片的发生率。2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低边缘月牙形破片发生率。3）搬送机器人吸盘采用O型圈，与基板摩擦力增大，运动中基板位置精度不受影响，不进行真空吸附。4）基本通用于所有平版制造厂，改造实施前实施后破片数减少60%，经济效益明显。