减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法

摘要

本发明涉及一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；优点：1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，使玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，从而控制了腔体破片的发生率。2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，使基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低边缘月牙形破片发生率。3）搬送机器人吸盘采用O型圈，与基板摩擦力增大，运动中基板位置精度不受影响，不进行真空吸附。4）基本通用于所有平版制造厂，对厂内破片率降低尤为关键，改造实施前实施后破片数减少60%，经济效益明显。