一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统

摘要

本实用新型提供一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统，包括：所述系统包括：箱体、微负压保持装置和气体处理装置，所述箱体为全密闭结构，所述箱体中设有电解装置；气体处理装置位于箱体外部，且与箱体中的电解装置管路连接；微负压保持装置位于箱体外部，包括至少一个负压风机，所述微负压保持装置一端通过管路与箱体连接，另一端通过管路与气体处理装置连接。上述系统可以制备高纯度的砷烷气体，且安全性高，实现污染物的零排放。