公开/公告号CN208846589U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 紫生高科(北京)科技有限公司;
申请/专利号CN201821463395.9
申请日2018-09-07
分类号
代理机构沈阳亚泰专利商标代理有限公司;
代理人周涛
地址 100036 北京市海淀区上庄乡东马坊村村西西郊农场特禽场1号平房
入库时间 2022-08-22 09:07:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-10
授权
授权
机译: 通过气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)方法用第一氧化物和另一种氧化物涂覆纳米级和纳米级的方法和装置。
机译: 用于化学气相的自动阀控制系统,其与等离子体沉积系统以及用于在纳米级沉积更多层膜的化学气相沉积系统一起运行
机译: 等离子体化学气相沉积系统中的自动阀控制系统和用于沉积纳米级多层膜的化学气相沉积系统