公开/公告号CN208638773U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 甘肃恒星特种陶瓷有限公司;
申请/专利号CN201821224255.6
申请日2018-07-31
分类号
代理机构兰州振华专利代理有限责任公司;
代理人张晋
地址 744000 甘肃省平凉市崆峒区二十里铺工业园区
入库时间 2022-08-22 08:32:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-22
授权
授权
机译: 用于产生磁控管放电以去除真空室中的基板表面的方法,涉及在跑道区域中产生相对于跑道其他区域中的等离子体具有不同电势的等离子体
机译: 从电子加速器环真空室中除去离子-沿真空室的内周壁具有离子感应电极,两端具有离子除去电极
机译: ECR ECR设备,用于保护重离子加速器的ECR离子源和超离子加速器的ECR离子源的超导磁体