一种全方位多感测三维光学测头的测试系统

摘要

本实用新型公开了一种全方位多感测三维光学测头的测试系统，包括利用显微物镜、LED照明光源、工业CCD相机、红外分光镜、镜筒透镜、一个以上的准直镜、分光镜、立面分光棱镜、分光光栅、半导体激光器LD、反射镜、柱面镜、四象限探测器、导光光纤、聚焦镜、二向色反射镜和二维位置敏感探测器PSD组成的测试模块，所述测试模块包括对物品进行形貌测量的二维显微成像测量模块、对物品进行Z轴方向高度测量的Z轴距离感测模块、对物品的X‑Y平面角度感测来实现空间位姿定位的X‑Y平面角度感测模块，X‑Y平面角度感测模块还与全方位视觉平台连接。本实用新型提高检测精度。