法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-08
授权
授权
2013-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/36 申请日:20130717
实质审查的生效
2013-10-23
公开
公开
机译: 作为利用投影仪的上述投影光学系统的上述投影方式的位置或倾斜度的测定方法,该投影仪具有投影显示该投影机的投影方式的位置的图像光的投影光学系统。执行图像处理方法的光学系统及其图像处理
机译: 光学单元例如光学透镜,一种用于微光刻投影照明系统的保持和密封装置,其密封件可在密封件相对于透镜密封的位置和密封件与透镜间隔开的位置之间移动
机译: 位置坐标测量方法,光学特性测量方法,光学特性测量设备,制造投影光学系统的方法,投影光学系统和投影警报器