公开/公告号CN103824855B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 绍兴光大芯业微电子有限公司;
申请/专利号CN201410104489.7
申请日2014-03-20
分类号H01L27/02(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 312000 浙江省绍兴市天姥路13号
入库时间 2022-08-23 09:41:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-08
授权
授权
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/02 申请日:20140320
实质审查的生效
2014-05-28
公开
公开
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