一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构

摘要

本实用新型涉及一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板上的顶面和底面，加热器设置在基板的中部；顶面绝缘层上对称分置于加热器上端面四侧设有4组声表面波谐振器；底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；基板封接有封帽，基板为正方形基板；通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率或振荡频率，易于实现高分辨率、高精度的测量，且便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形截面的基板和盖帽结构，便于采用圆片级封装技术，适合于批量化生产。