一种显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统

摘要

本实用新型公开了一种显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统，所述的测量系统包括棱镜，在正对棱镜底面的位置放置待测量样品，在正对棱镜顶面的位置从下到上依次放置偏振片和带镜头的工业相机，在正对棱镜一侧面的位置从近到远依次放置远心镜头和投影仪。本实用新型所公开的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统，结合了光学测量和机械测量，具有高效率、高质量、工作距离大，没有破坏性等特点。既可以进行静态又可以做动态的测量，其不需与物体相接触，在对物体没有伤害、破坏的前提下，可调距离的对其进行测量。