薄膜太阳能电池的激光结晶化及多晶化效率的改进

摘要

在此公开热处理半导体基板的装置及方法。所述装置的方面包括强烈辐射源和旋转能量分配器，所述旋转能量分配器将强烈辐射散布至校正器。所述校正器将辐射导向基板。所述方法的方面包括使用旋转能量分配器将脉冲能量分布至基板以进行处理。根据能量源的脉冲重复速率来设定所述能量分配器的旋转速率。可在根据能量源的脉冲重复速率所设定的速率下相对于能量分配器持续移动基板。