基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS微镜芯片及其封装结构

摘要

本实用新型公开了一种基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS微镜芯片及其封装结构。基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS微镜芯片具有一个以上的转轴、与所述转轴连接的框架，所述芯片具有背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面形成有反射镜面，所述反射镜面能够以所述转轴为轴发生偏转，所述第二表面形成有软磁薄膜层，其至少能够与电感线圈配合为所述镜面偏转提供磁力。本实用新型通过电镀软磁材料并结合外部通电线圈的方法来实现MEMS微镜偏转的驱动方式，可以通过改变软磁薄膜料层的厚度来改变最大饱和磁场强度从而提高驱动力，电镀软磁薄膜层的形状可以根据实际受力位置而调整，微镜工作时，微镜结构本身不需施加任何驱动电压或者电流，更容易实现其温度的精确控制。